Back Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů Czech Sekundärionen-Massenspektrometrie German Secondary ion mass spectrometry English طیفسنجی جرمی یون ثانویه Persian Spectrométrie de masse des ions secondaires French SIMS FRR Sekondêre-Ioane-Massa-Spektroskopy (SIMS) Frisian Spektrometri massa ion sekunder ID 二次イオン質量分析法 Japanese Sekundær ionemassespektrometri NB
La spettrometria di massa di ioni secondari, indicata comunemente con l'acronimo SIMS, dall'inglese secondary ion mass spectrometry è una tecnica di spettrometria di massa utilizzata per la caratterizzazione di superfici. Consiste nel bombardare il campione con un fascio di ioni (detti ioni primari) ed analizzare gli ioni prodotti dal bombardamento (ioni secondari). La tecnica SIMS garantisce un'altissima sensibilità nel rilevare sostanze presenti in traccia (ppm-ppb) e un'eccellente risoluzione in profondità (3÷10 nm).